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光电芯片生产基地项目

江苏省南京市浦口经济开发区东至棕竹路、南至菊圃路、西至云杉路、北至规划地块

镭芯光电科技（南京）有限公司

江苏环保产业技术研究院股份公司

项目（宁新区管审备〔2026〕1599号）选址于浦口经济开发区东至棕竹路、南至菊圃路、西至云杉路、北至规划地块。拟投资500000万元，规划建设4栋半导体工业厂房，生产配套动力站、甲类库、供氢站、变电站、研发办公楼，生活配套宿舍楼、食堂等。购置MOCVD外延设备、EBL光刻设备及测试设备共计约2700台，建设6条4寸InP衬底半导体激光芯片生产线以及配套测试产线，项目建成后可形成年产2亿颗光电器件以及模组的生产能力。项目总投资500000万元，其中环保投资48000万元。

（一）项目废气洗涤废水经含砷废水处理系统预处理后通过车间排口进入一般废水处理系统；BOE清洗废水经含氟废水处理系统预处理后，与有机清洗废水、光刻清洗废水、湿式蚀刻废水、KI蚀刻废水、研磨抛光废水、车间地坪清洗废水、初期雨水混合经一般废水处理系统处理，一般废水处理系统尾水与纯水制备浓水、空调系统排水混合达接管要求后接管至光大工业废水处理南京有限公司浦口经济开发区工业废水处理厂集中处理；食堂废水、生活污水经隔油池、化粪池处理达接管要求后接管浦口经济开发区污水处理厂集中处理。

（二）项目外延MOCVD废气、MOCVD清洗废气、ICP蚀刻废气、PECVD气相沉积废气、RIE蚀刻废气收集经“湿法+TO燃烧（备用处理工艺：干法scrubber）”装置预处理后与MOCVD配件清洗废气、产品清洁废气、湿式蚀刻废气、BOE蚀刻废气一并经“碱喷淋洗涤塔”处理后通过25米高排气筒（DA001）排放；清洗、光刻有机废气收集经二级活性炭装置处理后通过25米高排气筒（DA002）排放；锅炉配置低氮燃烧器，天然气燃烧废气通过25米高排气筒（DA003）排放；危废仓库废气收集经二级活性炭装置处理后通过15米高排气筒（DA004）排放。

（三）合理布局噪声源，优先选用低噪声设备，采取减振隔声等措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。

（四）项目生活垃圾委托环卫部门处置；一般工业固废（纯水制备废活性炭、不合格激光器组件、废包装材料等）委外综合利用处置；危险废物（有机废液、废光刻胶、废显影液、废HMDS、废BOE溶液、废酸、废氨、KI废液、废成膜液、研磨废液、废吸附剂、不合格品、废膜、废气治理废活性炭、污泥、废铅酸电池、废抹布、废油、清洗废渣、废试剂瓶）委托有资质单位处置，转移处置时按规定办理相关手续。