新区企业埃米仪器获数千万元Pre-A轮融资

近日江北新区企业南京埃米仪器科技有限公司（下简称：埃米仪器）宣布完成数千万元Pre-A轮融资。

本轮融资由博将资本领投。公司的产品与技术已获得国内领先芯片制造企业的认可，其在线工业级原子力显微镜已完成某芯片头部企业的产品正式交付，这对推动国内先进工艺的发展，提高芯片制造良率，缩短制程研发周期具有重要意义。

埃米仪器创始人杨见飞博士拥有多年先进量测和封装设备研发经验。公司拥有一支强大的研发团队，目前已与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。

埃米仪器成立于2022年8月，位于南京江北新区，产品聚焦于材料表面的三维形貌量测和检测，主要应用于芯片制造过程中晶圆表面粗糙度、轮廓、关键尺寸和3D 结构等纳米/亚纳米级结构和特征的量测。

公司拥有一支以半导体设备研发专家为核心的研发团队，与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。依托埃米仪器核心团队多年技术储备，聚焦高端量测产品开发，包含用于芯片生产过程控制的超快高精密原子力显微镜在线量测设备及高端混合技术量测设备。公司以精密量测设备国产化为目标，攻克核心技术，目前已获得数十项发明专利授权以及量测设备know-how专利，覆盖原子力显微镜和光学量测设备，涉及光电器件、精密机械、定位系统、电气设计等。